超纯水设备中氮密封水箱用于向密封水箱中加注定量的氮。水箱中的氮气压力不超过80Kpa。氮气是一种惰性气体，可以不让CO2和其他物质溶解到水中，影响水质，从而确保水箱中的水不会受到二次污染，导致水质退化。

氮气密封装置由快速释放阀和微压力调节阀组成。释放阀由一个压力控制器和一个切断阀组成。当储罐中的压力升至设定压力时，释放阀尽快打开，以释放储罐中的多余压力。微压调节阀用于在储罐内压力降低时打开阀门并向储罐内加注氮气。由于微压调节阀必须在0.1Mpa以下的压力下使用，且现场N2压力较高，因此在使用前要安装压力调节阀，以将压力降至0.1Mpa之下。

压力可根据需要分段设置，从0.5Kpa到60Kpa以下。。在微压调节阀的压力调节范围内选择一个设定值，如3Kpa； 氮气排放设定值应远离氮气供应压力，如8Kpa。；具体压力设定值应根据纯水系统产水量和水箱容量确定和选择。