超纯水设备采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四个步骤，多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置、EDI电除盐装置、抛光混床单元等多种处理方法，电阻率方可达18.25MΩ*cm（25℃）。这也使得超纯水设备平时养护的时候需要很多的注意事项，一个不小心有可能就导致设备不能正常的运行导致出水质量降低。

一、次氯酸钠添加量应根据水源中细菌数进行相应调整，除了定期对细菌数进行检测外，还应对混合离子交换柱入口游离氯进行检测，以免游离氯超标，影响树脂的正常运行。

二、注意用水点旋塞的污染，使用频率较小的旋塞容易成为微生物污染的对象，一旦污染，若不长时间放水冲洗，无法恢复原状态。

三、市售次氯酸钠溶液容易氧化分解，若使用时间过长或系统逢节假日停运时间较长，除了从水箱放水让反渗透膜隔一段时间运行数小时、使系统保持活性外，也要对次氯酸钠溶液适时进行更换。

四、混合离子交换柱通常都采用一用一备的，细菌在静止青岛电子超纯水设备中能够迅速繁殖，通常在备用混床投入运行前，对其进行再生，以保证杀菌效果。

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