单晶硅微电子行业用的反渗透纯水设备简析
单晶硅是一种半导体材料,可用于制造集成电路和半导体器件。它属于非金属元素。诸如探测器级单晶硅、电路级单晶硅和大功率晶体管等电力电子器件,可以使用单晶硅。在微电子工艺中,需要有要求的纯水,如果工业纯水的水质要求不符合要求,产品的使用将受到不同程度的影响。
反渗透纯水设备可根据电子行业对纯水质量的要求进行划分。纯水水质电阻率可细分为0.5MΩ.cm、2MΩ.cm、10MΩ.cm、15MΩ.cm、18MΩ.cm、18.2MΩ.cm等之间。
电子纯水处理设备主要由预处理系统、离子交换混床(EDI电脱盐系统)系统、RO反渗透主机系统等结构组成。预处理系统可根据当地原水水质采用钠离子软化器、精密过滤器、多介质过滤器、活性炭过滤器等工艺。
单晶硅微电子离子交换技术工艺流程:原水→ 多介质过滤器→ 活性炭过滤器→ 精密过滤器→ 中间水箱→ 反渗透设备→ 混床→ 超纯水储罐→ 超纯水泵→ 保安过滤器→ 用水点。
预处理工艺采用反渗透技术,其次是离子交换技术。优点是离子设备的再生周期相对较长,酸碱消耗远低于单独使用离子树脂。
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